GRUMTF-3型手动探针台

产品型号：     GRUMTF-3

适用范围：

适用于放大器、滤波器、开关、衰减器、负载等半导体裸芯片或其他基于陶瓷基片、硅基片、砷化镓、氮化镓等材料的厚膜、薄膜、半导体工艺的微波器件、组件、模块的高频测试。

产品特点：

国产探针，测试频率最高可达67GHz，处于国内领先水平

采用高精度微波探针，针地间距10μm-500μm

高倍电子显微镜实时监控探针和芯片连接

千分尺步进操控探针连接位置，超高精度，X-Y-Z双面六向可调

采用负压发生器将待测件吸附在测试平台上，同时可配置限位片

校准件:

采用TRL陶瓷校准片，可以通过反射、延时、传输将仪表的测试参考面准确校准到待测件的两端。校准片一般为氧化铝陶瓷基片，尺寸特别微小时也可采用半导体硅基片，支持频率最高可达67GHz。使用时先在仪表上设置校准件参数，然后按仪表提示依次将校准件放置到测试平台上调整探针连接进行校准。

测试平台:

GRUMTF-3的通用性极强，探针双面六项可调，步进精度极高。不同尺寸的裸芯片可由负压发生器吸附在测试平台上，调节探针连接即可测试。探针分为GSG和GS两种，对于只有单边有接地面的待测件，也可通过限位片定位并补齐接地面通过GSG探针测试。